Рост нанопроводов и нанотрубок непосредственно на микрочипы

Инженеры Univ. Калифорнии в Беркли разработали процесс, который исключает громоздкие среднего шаги в производстве датчиков, которые могут привести к более дешевым и быстрым коммерциализации целого ряда на основе нанотехнологий устройств, прогнозирует Ливэй Лин, доцент кафедры машиностроения.

Типичные нанопроволоки и нанотрубки процесс производства происходит в печи при температуре 600-1000 [степени] C. 1-см ^ ^ SUP 2 кремниевых пластин покрыта тонким слоем металлического сплава. Пара направляется к подложке, а также металлического сплава выступает в качестве катализатора в реакции, которые в конечном итоге форм миллиарды нанопроволоки и нанотрубки осадков. Наноматериалов, которые затем собрали, помещая их в жидком растворителе (например, этанол) и взрывных них ультразвуковых волн, чтобы ослабить их от поверхности пластины. Исследователи должны затем отсортировать миллиардов штук, чтобы найти те немногие, которые отвечают их спецификаций.

Использование резистивного нагрева, Лин и аспирантов Ongi Englander и Дэйн Кристенсен удалось точно локализовать крайней тепло, необходимое для нанопроволоки и нанотрубки роста при одновременной защите sensivite микроэлектроники, который остается при комнатной температуре. Они прошли ток через провод на конкретных объектах, на микроструктуру, где они хотели нанопроводов и нанотрубок расти. В одном эксперименте, район был нагрет до 700 [градусов] C в то время как другое место всего лишь несколько [] му метрах остался на 25 [степени] C. Золото-палладиевых сплавов и паров силана были использованы для создания кремниевых нанопроводов, и железо-никелевый сплав с ацетиленом пара были использованы для создания углеродных нанотрубок. Нанопровода 30-80 нм в диаметре и до 20 [му] м в длину, и углеродных нанотрубок 10-30 нм в диаметре и до 5 [му] м? долго, были подготовлены.

"Это уникальный подход", отмечает Линь, "позволяет получать весь основанных на нанотехнологиях датчика в процесс, аналогичный тому создания компьютерных чипов, без каких-либо пост-монтажные требуется". Его команда продолжает свои исследования, чтобы точно настроить температуру и время нагрева, необходимые для создания желаемой длины нанопроводов и углеродных нанотрубок.